金属和非金属固体材料中的氧氮氢是采用惰性气体熔融原理来检测，在进行氧氮氢的测定中，将称量后的试样放在石墨坩埚中，在氦气（单测氧可用氩气）气流中通过高温加热熔融。氧氮氢分析仪快速准确测定钢铁、铸铁、合金、铜、锆、钛、稀土材料和其他无机物中的氧、氮、氢含量。